精密加工气态污染物的处理

污染物的处理

酸雾净化喷淋塔:

酸雾喷淋塔主要处理有害气体为硫酸雾（H2SO4）、氯化氢（HCL）及氟化氢（HF）气体、铬酸雾（CrO3）等水溶性气体。酸雾废气处理塔对于腐蚀性气体（如酸、碱性废气）的治理，目前多采用液体吸收法治理该废气，格林斯达环保自主开发了废气处理设备效率高、操作管理简单、使用寿命长的酸、碱性废气处理工艺与废气净化设备。

直燃炉:

直燃炉是将含有VOCs成分的气体在高温下氧化分解，合理的氧气供给量、燃烧温度、停留时间及湍流度等四个燃烧条件，可达到预期的净化处理效果。在处理有机废气时，其燃烧温度多在700~800℃，与氧气充分混合，有机物氧化效率可达99%。为节约能源，直燃炉可利用燃烧后的高温气体的余热进行两段式热能回收，一段热交换器用来将燃烧废气进行预热以节省燃烧室内能源消耗，二段热交换器是将冷却气体加热升温直脱附温度，为转轮脱附提供足够的能量。

尾气处理等离子水洗设备：

通过直流电源，使工作气体（氮气）进入等离子体反应器，在正负极强电流的作用下，被电离成等离子体，瞬间产生巨大的火焰，产生的高温火焰将废气分解去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中使用或产生的PFC温室气体和有毒有害气体，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等

砷磷烷吸附塔：

利用化学反应、复分解反应等基本原理，与各种废气产生化学反应，生成稳定的无毒无害的化合物或者复合物，可直接用于修路、垃圾填埋等，不会产生二次污染。

精密加工生产中的废气处理系统